旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)勻膠機(jī)
旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)/勻膠機(jī)/旋轉(zhuǎn)涂儀 型號:ZRX-26230
旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)勻膠機(jī)
主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。
適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆藝。
ZRX-26230勻膠機(jī) 作主機(jī)立,控制器分置。
ZRX-26230勻膠機(jī): 作腔內(nèi)徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。
*旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)勻膠機(jī)程序控制器:
可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷藝過程;
每個涂敷藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
加速度(及負(fù)加速度),可設(shè)置。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷藝過程模板程序,方便快速調(diào)試并存儲程序。
設(shè)置程序:標(biāo)準(zhǔn)通用符號,6鍵操作,人機(jī)交互式對話,提示操作。
無需培訓(xùn),上手就會操作。
*可連接滴膠機(jī),自動控制在要的瞬間滴膠,自動控制重復(fù)定量滴膠。
自動控制操作。
*作腔可氮?dú)獗Wo(hù)。
設(shè)過有效的惰性氣體保護(hù)機(jī)構(gòu),對所有的環(huán)境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,
*真空吸片,爪卡機(jī)構(gòu)。2種作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機(jī)構(gòu)作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*中心結(jié)構(gòu)定位:圓形基片使用具成中心定位。方便快捷,定位度。
主機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配備片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*卡盤,吸盤品種豐富,適應(yīng)各種需要。
*真空吸片系統(tǒng)更安:
安裝有真空度傳感器,涂敷作過程電腦實(shí)時檢測系統(tǒng)真空度,須在安的真空度下,
電機(jī)啟動,運(yùn)行。保障可靠吸片,不飛片。運(yùn)行中失去真空,系統(tǒng)保護(hù)性停機(jī)。
*伺服電機(jī),轉(zhuǎn)速度更:300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 % 轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*所用的天然聚丙烯(NPP)材質(zhì),清潔。
單相交流電源:220V.50Hz
電機(jī)率:200W
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時間:1---9999秒。尺寸: 490mm寬 x 400mm深 x 300 mm ,